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平面度是指基片的宏觀凹凸高度與理想平面之間的偏差。公差區(qū)是兩個平行平面之間的區(qū)域,其距離為公差值t。產(chǎn)品平面不均勻,放置在基準面上,最低點在基準面上,最高點到基準面的距離為平直度。與上述平面間隙、彎曲度和扭轉(zhuǎn)度相比較,一般認為平面平整度是平面間隙、彎曲度和彎曲度的綜合體現(xiàn)。
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